均益科技有限公司

 

均益科技有限公司成立於2010年,主要業務為代理及銷售應用於半導體產業的光學量測儀器,產品包含

 

  • ZYGO 精密定位用鐳射頭:應用於黃光的NIKON或CANON曝光機的Stage定位。
  • K-Patents 化學液濃度計(接觸式):應用於CMP Slurry雙氧水濃度監測及WET 化學液濃度監測。
  • FLEXIM 化學液濃度計(非接觸式):應用於WET 化學液濃度監測。

 

Vaisala K‑PATENTS® Semicon Refractometer PR-33-S.pPR-33-S
Vaisala K‑PATENTS® Semicon Refractometer PR-23-MS.PR-23-MS



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半導體製造過程中的芯片質量通常被定義為目標周圍可變性的減少,或者換句話說,分佈設置在指定下限和上限之間的程度。對質量至關重要 (CTQ) 和符合客戶要求也起著重要作用。製造中過高的可變性很快會導致產品質量問題。為確保向市場穩定供應優質產品,需要全面的質量指標和過程控制。產品質量和製造的一個重要部分是化學。半導體晶圓廠在整個晶圓廠流程中消耗大量化學品。每個工藝的可重複性和再現性是晶圓廠最關心的問題,即使是最輕微的規格偏差也可能導致昂貴的設備污染和晶圓報廢。
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