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均益科技有限公司成立於2010年，主要業務為代理及銷售應用於半導體產業的光學量測儀器，產品包含

 

  • ZYGO 精密定位用鐳射頭：應用於黃光的NIKON或CANON曝光機的Stage定位。
  • K-Patents 化學液濃度計(接觸式)：應用於CMP Slurry雙氧水濃度監測及WET 化學液濃度監測。
  • FLEXIM 化學液濃度計(非接觸式)：應用於WET 化學液濃度監測。
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