用於半導體液體化學工藝

帶有超純改性 PTFE 流通池主體的緊湊型折光儀，用於半導體液體化學過程。通過 ¼ — 1 英寸支柱或喇叭口接頭連接到過程。

Vaisala K-PATENTS® Semicon 折光儀 PR-23-MS 具有內置的超純改性 PTFE 流通池，旨在防止所有金屬和腐蝕部件與工藝液體接觸。所有接液部件均由超純改性 PTFE 製成。棱鏡材質為藍寶石。

PR-23-MS 直接安裝在柱子或喇叭口接頭上。緊湊的設計允許集成到對占地面積的需求非常低的濕工作台或櫥櫃中。

通過對溶液的折射率進行光學測量來確定溶解的固體濃度。這一原理的優點是同一儀器可用於測量任何化學物質。

如果化學品不在規格範圍內，PR-23-MS 會提供連續的 4-20 mA 或數字測量信號和即時反饋給控制系統。PR-23-MS 在物理上是一個小型設備，易於安裝在散裝化學品分配以及使用點化學品混合、加標和監控應用中。

使用Vaisala K-PATENTS® PR-23-MS，您可以

• 
  防止錯誤的化學品進入製造過程。
• 優化蝕刻工藝並增加蝕刻溶液（例如加熱的 KOH）的浴槽壽命。
• 在 FEOL 和 BEOL 清洗中，晶圓產量通常增加 +25%，並減少清洗化學品的消耗（例如 SC-1 或 EKC-265）。
• 實現對 CMP 漿料的嚴格控制和更好的平坦化工藝均勻性。

主要特徵

• 
  典型精度為 0.1%（重量），例如水中的 HCl。對於多分量解決方案，測量信號用作校驗和。
• 獲得專利的 CORE 光學器件（美國專利號 US6067151）。 
• 雙連接：一個變送器可以操作兩個傳感器。稍後可以輕鬆集成第二個傳感器。
• 過程溫度範圍：-20°C – 150°C (-4°F – 300°F)
• 通過內置 Pt1000 和自動溫度補償進行快速過程溫度測量。
• ATEX 批准用於 II 區，區域分類 EX II 3 G EEx nA II T4。
• FM 批准用於 I 類，Div. 2，A、B、C 和 D 組，T6。
• CSA 認證為 Class I, Div. 2，A、B、C 和 D 組，T4。

cCSAus 電氣安全認證，傳感器：I 級，污染度。3；變送器：I 類，污染度。2；安裝目錄