用於半導體液體化學工藝

帶有超純改性 PTFE 流通池主體的緊湊型折光儀，適用於半導體液體化學過程。通過 ¼ — 1 英寸支柱或喇叭口接頭連接到過程。

維薩拉 K-PATENTS® Semicon Refractometer PR-33-S 監測潔淨室環境和集成工藝工具（混合、清潔、蝕刻和 CMP）中的晶圓廠化學品濃度。

PR-33-S 由一個超純、改良的 PTFE 流通池主體和一條以太網電纜組成，任何標準 PoE（以太網供電）交換機都可以使用該電纜將電力傳輸到傳感器並將數據傳輸到計算機。PR-33-S 實時監控化學品濃度，並在化學品超出規格時提供以太網輸出信號和即時反饋。例如，可以配置低濃度和高濃度警報來控制和增加浴槽壽命。通過對溶液的折射率 nD 和溫度進行光學測量來確定濃度。

PR-33-S 直接安裝在喇叭口或支柱接頭上。PR-33-S 具有緊湊的無金屬結構，並且只需要很小的佔地面積。

關鍵要素

• 
  NIST 可溯源校準、使用標準 RI 液體和經過驗證的程序進行驗證。
• 獲得專利的 CORE 光學器件（美國專利號 US6067151）。 
• 通過以太網進行數據記錄和遠程操作的遠程面板。
• 通信由標準 UDP/IP 協議構建。
• 過程溫度範圍：-20°C – 85°C (-4°F – 185°F)。

通過內置 Pt1000 和自動數字溫度補償進行快速過程溫度測量。