均益科技有限公司成立於2010年,主要營業項目為代理及銷售應用於半導體產業的光學量測儀器,產品包括
芬蘭商 VAISALA / K-Patents 化學品濃度計,應用於半導體濕式製程的化學品濃度即時監測,例如各式強酸、氨水、IPA的濃度即時監測,以及CMP研磨液中的雙氧水濃度即時監測。
美商 ZYGO 精密定位鐳射頭,應用於半導體及面板製造業中Nikon及Canon曝光機的Reticle Stage及Wafer Stage的精密定位。
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