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VAISALA Polaris PR-53S 半導體製程折射儀
專為測量半導體濕式化學製程的濃度而設計。這是一款緊湊型折射儀，採用超純改質 PTFE 流通池主體，適用於半導體濕式化學製程。通過 1/4 英寸至 1 英寸的Pillar或Flare接頭連接到製程管路。 PR53S 半導體折射儀可在無塵室環境中整合於製程設備（混合、清洗、蝕刻和 CMP）中監測晶圓廠化學品的濃度。
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VAISALA Polaris PR-53M 折射儀
專為測量化學和半導體行業中腐蝕性化學品的濃度而設計，例如鹽酸 (HCl)、氫氧化鈉 (NaOH)、氯化鈉 (NaCl) 和硫酸 (H2SO4)。整合的超純 PTFE 流通池不含任何金屬接觸部件，最大限度地降低了污染風險，使其適用於與腐蝕性化學品接觸。PR53M 可透過標準 NTP 螺紋連接安裝到 1/2 英吋製程管線上。
