公司介紹 商品介紹 化學品濃度計 VAISALA Polaris PR-53S 半導體製程折射儀 2 VAISALA Polaris PR-53S 半導體製程折射儀 專為測量半導體濕式化學製程的濃度而設計。這是一款緊湊型折射儀，採用超純改質 PTFE 流通池主體，適用於半導體濕式化學製程。通過 1/4 英寸至 1 英寸的Pillar或Flare接頭連接到製程管路。 PR53S 半導體折射儀可在無塵室環境中整合於製程設備（混合、清洗、蝕刻和 CMP）中監測晶圓廠化學品的濃度。 1717590 附加檔案: PR-53S_Datasheet.pdf
