公司介绍 商品介绍 化学品浓度计 VAISALA Polaris PR-53S 半导体制程折射仪 2 VAISALA Polaris PR-53S 半导体制程折射仪 专为测量半导体湿式化学制程的浓度而设计。这是一款紧凑型折射仪，采用超纯改质 PTFE 流通池主体，适用於半导体湿式化学制程。通过 1/4 英寸至 1 英寸的Pillar或Flare接头连接到制程管路。 PR53S 半导体折射仪可在无尘室环境中整合於制程设备（混合、清洗、蚀刻和 CMP）中监测晶圆厂化学品的浓度。 1717590 附加档案: PR-53S_Datasheet.pdf
