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VAISALA Polaris PR-53S 半导体制程折射仪
专为测量半导体湿式化学制程的浓度而设计。这是一款紧凑型折射仪，采用超纯改质 PTFE 流通池主体，适用於半导体湿式化学制程。通过 1/4 英寸至 1 英寸的Pillar或Flare接头连接到制程管路。 PR53S 半导体折射仪可在无尘室环境中整合於制程设备（混合、清洗、蚀刻和 CMP）中监测晶圆厂化学品的浓度。
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VAISALA Polaris PR-53M 折射仪
专为测量化学和半导体行业中腐蚀性化学品的浓度而设计，例如盐酸 (HCl)、氢氧化钠 (NaOH)、氯化钠 (NaCl) 和硫酸 (H2SO4)。整合的超纯 PTFE 流通池不含任何金属接触部件，最大限度地降低了污染风险，使其适用於与腐蚀性化学品接触。PR53M 可透过标准 NTP 螺纹连接安装到 1/2 英寸制程管线上。
